Wafer ji siliconê pak (Si) tê çêkirin.Bi gelemperî di taybetmendiyên 6-inch, 8-inch, û 12-inch de têne dabeş kirin, wafer li ser vê waferê têne hilberandin.Waferên silicon ên ku ji nîvconduktorên paqijiya bilind bi pêvajoyên wekî kişandin û perçekirina krîstal têne amadekirin, jê re wafer beca tê gotin.bi kar tînin ew bi şiklê dor in.Strukturên hêmanên cûrbecûr dikarin li ser pêlên silicon werin hilberandin da ku bibin hilberên bi taybetmendiyên elektrîkî yên taybetî.berhemên circuit entegre fonksîyonel.Wafer di nav rêzek pêvajoyên hilberîna nîvconductor re derbas dibin da ku strukturên dorhêl ên pir piçûk ava bikin, û dûv re têne qut kirin, pakkirin û ceribandin li çîpên ku bi berfirehî di amûrên elektronîkî yên cihêreng de têne bikar anîn.Materyalên wafer zêdetirî 60 sal pêşkeftina teknolojîk û pêşkeftina pîşesaziyê ceribandine, rewşek pîşesaziyê ku ji hêla silicon ve serdest e û ji hêla materyalên nîvconductor yên nû ve hatî tije kirin pêk tîne.
Ji sedî 80ê telefonên desta û kompîturên cîhanê li Çînê tên hilberandin.Çîn ji bo 95% ji çîpên xwe yên bi performansa bilind xwe dispêre hinardekirinê, ji ber vê yekê Çîn her sal 220 mîlyar dolarên Amerîkî xerc dike ji bo îtxalkirina çîpsan, ku du caran ji hinardekirina petrolê ya salane ya Çînê ye.Hemî alav û materyalên ku bi makîneyên fotolîtografî û hilberîna çîpê ve girêdayî ne jî têne asteng kirin, wekî wafer, metalên paqijiya bilind, makîneyên etching, hwd.
Îro em ê bi kurtasî li ser prensîba paqijkirina ronahiya UV ya makîneyên wafer biaxivin.Dema ku daneyan dinivîsin, pêdivî ye ku meriv bi sepandina VPP-ya voltaja bilind li derî, wekî ku di jimareya jêrîn de tê xuyang kirin, barkirinê têxin dergehê herikîn.Ji ber ku barkirina derzîlêdanê enerjî tune ye ku bikeve dîwarê enerjiyê yê fîlima oksîtê ya silicon, ew tenê dikare statûkoyê biparêze, ji ber vê yekê pêdivî ye ku em hindek enerjiyê bidin barkirinê!Ev dema ku ronahiya ultraviolet hewce ye.
Dema ku dergehê herikîn tîrêjên ultraviyole distîne, elektronên li dergehê herikîn enerjiya quantên ronahiya ultraviyole werdigirin, û elektron dibin elektronên germ ên bi enerjiyê da ku derbasî dîwarê enerjiyê yê fîlima oksîdê silicon bibin.Wekî ku di wêneyê de tê xuyang kirin, elektronên germ derbasî fîlima oksîtê ya silicon dibin, diherikin jêrzemînê û dergehê, û vedigerin rewşa jêbirin.Operasyona jêbirinê tenê bi wergirtina tîrêjên ultraviyole dikare were kirin û bi elektronîkî nayê jêbirin.Bi gotineke din, hejmara bits tenê dikare ji "1" ji bo "0" biguhere, û li aliyê berevajî.Ji paqijkirina tevahiya naveroka çîpê rêyek din tune.
Em dizanin ku enerjiya ronahiyê berevajî dirêjahiya pêlên ronahiyê ye.Ji bo ku elektron bibin elektronên germ û bi vî awayî bibin xwediyê enerjiyê ku derbasî fîlima oksîdê bibin, tîrêjkirina ronahiyê bi dirêjahiya pêlê kurttir, ango tîrêjên ultraviyole, pir hewce ye.Ji ber ku dema paqijkirinê bi hejmara fotonan ve girêdayî ye, di dirêjahiya pêlên kurt de jî dema paqijkirinê nayê kurt kirin.Bi gelemperî, paqijkirin dema ku dirêjahiya pêlê li dora 4000A (400nm) be dest pê dike.Ew bi bingehîn digihîje têrbûnê li dora 3000A.Di bin 3000A de, her çend dirêjahiya pêlê kurttir be jî, ew ê bandorek li ser dema jêbirinê neke.
Standard ji bo jêbirina UV bi gelemperî pejirandina tîrêjên ultraviyole bi dirêjahiya pêlê 253.7nm û tundiya ≥16000 μ W / cm² ye.Operasyona jêbirinê dikare ji hêla dema xuyangkirinê ve ji 30 hûrdem heya 3 demjimêran pêk were.
Dema şandinê: Dec-22-2023